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一种晶片清洁装置及晶片清洁方法 

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申请/专利权人:唐山斯腾光电科技有限公司

摘要:本发明公开了一种晶片清洁装置及晶片清洁方法,涉及晶片清洁技术领域。本发明包括清洁箱主体,所述清洁箱主体顶部设置有清洁箱顶盖,所述清洁箱主体侧面开设有方形槽,所述方形槽内部设置有方形板,所述方形板侧面固定连接有竖直握把。本发明通过可控制进液结构内部的U型塞、浮动板和进液管等组件的设置,使得在清洁液在进入清洁箱主体内部时,浮动板会因此上浮,从而使U型塞堵住进液管,同时滑动柱的上移会关闭清洁液箱控制阀,这样可以实现对清洁箱主体内部清洁液的控制,可以减少人为操作中的误差和波动性。人为操作可能导致清洗液浓度、流量或时间的不一致,而自动控制可以消除这些变量,提高清洗的可靠性和重复性。

主权项:1.一种晶片清洁装置,包括清洁箱主体(1),其特征在于:所述清洁箱主体(1)顶部设置有清洁箱顶盖(2),所述清洁箱主体(1)侧面开设有方形槽(3),所述方形槽(3)内部设置有方形板(4),所述方形板(4)侧面固定连接有竖直握把(5),所述清洁箱主体(1)侧面固定贯穿有出水管(6),所述粉碎箱主体(1)设置有可控制进液结构(7);所述可控制进液结构(7)包括清洁液箱(71),所述清洁液箱(71)设置在清洁箱主体(1)顶部上,所述清洁液箱(71)底部固定贯穿有进液管(73),所述进液管(73)侧面与清洁箱顶盖(2)顶部固定贯穿,所述清洁液箱(71)底部固定连接有滑动柱(74),所述滑动柱(74)侧面与清洁箱顶盖(2)顶部贯穿,且与清洁箱顶盖(2)滑动连接,所述清洁箱主体(1)内壁固定连接有连接绳(75),所述连接绳(75)远离清洁箱主体(1)内壁的一端固定连接有浮动板(76),所述浮动板(76)顶部设置有U型塞(77)。

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