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一种石英音叉晶片频率调整工艺 

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申请/专利权人:泰晶科技股份有限公司

摘要:本发明提供一种石英音叉频率调整工艺,通过减少石英音叉的锤头上形成的调整用金属膜的质量来进行频率调整,其包括通过将音叉锤头上局部区域的调整用金属膜薄壁化或完全去除而实现对频率的局部粗调;所述局部区域距音叉锤头的边缘具有一定的距离,并且在音叉锤头的宽度方向上,所述局部区域距音叉锤头两侧边缘的距离相等。本方案在频率粗调时采用局部粗调工艺避免了音叉边缘生成与整体连接不牢固的粗调碎屑及毛刺,改善了在后续微调及跌落过程中异物掉落造成的产品频率失稳情况。

主权项:1.一种石英音叉晶片频率调整工艺,通过减少石英音叉晶片的锤头上形成的调整用金属膜的质量来进行频率调整,其特征在于,包括通过将音叉锤头上局部区域的调整用金属膜薄壁化或完全去除而实现对频率的局部粗调,并且所述局部区域距音叉锤头的四周边缘具有一定的距离。

全文数据:

权利要求:

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