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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：本发明公开一种图像获取方法、图像获取装置和晶片检查装置。线扫描相机设置在晶片传送路径上方以通过对包括传送路径一部分的扫描区域进行成像来连续获取具有预定尺寸的局部图像，并将局部图像存储在图像存储单元中。通过图像分析单元检测局部图像中包括预定特征点的局部图像，图像合并单元将包括检测到局部图像在内的预定数量的局部图像合并以获取晶片的完整图像。图像检查单元分析晶片的完整图像以检测晶片中的缺陷。
主权项：1.一种图像获取方法，包括：通过使用设置在晶片传送路径上方的线扫描相机对垂直于所述晶片的传送路径的扫描区域进行成像来连续获取具有预定尺寸的局部图像；从所述局部图像中检测包括预定特征点的局部图像；以及将包括检测到局部图像在内的预定数量的局部图像合并以获取所述晶片的完整图像，其中检测所述局部图像包括：设置所述局部图像中的感兴趣区域ROI；以及分析所述局部图像的ROI以检测包括所述预定特征点的局部图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 图像获取方法、图像获取装置和晶片检查装置
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