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申请/专利权人：中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂)
摘要：本发明提供了一种自动化氦质谱检漏装，包括转盘及设在转盘相对两侧的上料机构和下料机构；所述上料机构、下料机构上分别设有往返于上料机构和转盘及上料机构和下料机构之间的吸嘴，所述上料机构和下料机构的两端还分别设有存料机构，所述转盘上设有抽气机构。本发明通过自动上下料机构和自动检测机构，能够快速的对大批量产品进行密封检测，并且能够自动剔除不合格的产品，大大提高了生产效率以及产品的可靠性。
主权项：1.一种自动化氦质谱检漏装，其特征在于：包括转盘2及设在转盘2相对两侧的上料机构1和下料机构3，所述上料机构1、下料机构3上分别设有往返于上料机构1和转盘2及上料机构1和下料机构3之间的吸嘴16，所述上料机构1和下料机构3的两端还分别设有存料机构4，所述转盘2上设有抽气机构6。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂) 一种自动化氦质谱检漏装
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