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申请/专利权人：上海优尊真空设备有限公司
摘要：本发明涉及真空设备技术领域，具体涉及一种高洁净高真空低温泵，包括泵壳体、冷屏、冷伞、一级冷头以及二级冷头；可以快速实现所需的真空环境，且保证真空状态的稳定性，为半导体加工提供高洁净的真空环境；通过设置有外冷屏和内冷屏，可以降低环境热辐射对冷伞结构冷凝和吸附气体的影响，保证真空状态的稳定性；通过在冷屏内设置有障板，可以对被吸附气体进行初步吸附和冷凝，同时还可以减少气体对障板内部的内吸附阵和外吸附阵的直接冲击，延长内、外吸附阵的使用寿命；通过设置有内吸附阵和外吸附阵两级吸附，可以提高气体的有效接触面积，减少真空室的直接辐射热对真空状态的影响，快速实现所需的真空状态；同时还方便装配，降低加工精度。
主权项：1.一种高洁净高真空低温泵，其特征在于，包括泵壳体1、冷屏、冷伞、一级冷头4以及二级冷头5；所述冷屏包括外冷屏21和内冷屏22，所述外冷屏21设置在泵壳体1内侧壁上，所述内冷屏22设置在外冷屏21的内侧；所述冷伞表面设置有吸附材料且设置在外冷屏21内，用于气体的冷凝或吸附，所述冷伞包括障板31、外吸附阵32和内吸附阵33，所述障板31固定设置在冷屏的顶端，所述外吸附阵32设置在冷屏内且位于障板31的下方，所述内吸附阵33设置在外吸附阵32的内侧，所述一级冷头4和二级冷头5用于对冷屏、冷伞的制冷降温，所述二级冷头5的首端延伸至冷屏内且位于冷伞处，所述一级冷头4设置在二级冷头5的末端，所述一级冷头4的末端设置有驱动装置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海优尊真空设备有限公司 一种高洁净高真空低温泵
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