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申请/专利权人：中国工程物理研究院核物理与化学研究所
摘要：本发明提出了一种百微米级透射电镜样品的制备方法。该具体如下：1沉积碳化物保护层，切割百微米级的薄片样品；2在样品转移针和薄片样品顶部间隙中沉积铂碳化物完成薄片样品的粘接；3将薄片样品移动至微柱顶部，在薄片样品与微柱之间沉积铂碳化物完成薄片样品的固定；4对薄片样品前后侧部分区域进行减薄，保留薄片样品左侧、右侧和底部一定宽度范围为未减薄区域，即得百微米级透射电镜样品。该方法不仅克服了大尺寸透射电镜样品易弯曲、卷曲或破损的缺点，还实现百微米级透射电镜样品的制备，其观测范围宽广，满足对材料显微组织结构的统计性认识，提高分析结果的可靠性，在材料的透射电子显微分析领域具有重要的应用前景。
主权项：1.一种百微米级透射电镜样品的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S10切割百微米级薄片样品：在待制样区域沉积碳化物保护层，采用聚焦离子束法切割薄片样品前侧、后侧、右侧、底部以及左侧部分区域制备出宽度为百微米级的薄片样品，其中薄片样品左侧保留一定宽度的连接区域，确保薄片样品不掉入切割薄片样品过程中形成的凹坑中，其中宽度即薄片样品左侧与右侧的距离；S20粘接并提取薄片样品：将尖端小于20μm的样品转移针移动至薄片样品的顶部，并与样品顶部保持一定间隙，在间隙中沉积铂碳化物粘接薄片样品至样品转移针后，切断薄片样品左侧保留的连接区域；S30转移并固定薄片样品：采用样品转移针将薄片样品移动至透射电镜用微栅的微柱顶部，并与微柱顶部保持一定间隙，在整段间隙中沉积铂碳化物粘接薄片样品至微柱，切断薄片样品与样品转移针的连接区域；S40薄片样品减薄：采用聚焦离子束法切割百微米薄片样品的前侧和后侧，为避免样品弯曲或卷曲，在薄片样品左侧、右侧和底部保留一定宽度的未减薄区域，所述的左侧和右侧保留的未减薄区域宽度范围为2μm至5μm，底部保留的未减薄区域宽度范围为1μm至3μm，制备的透射电镜样品的厚度小于100nm，即得百微米级透射电镜样品。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 一种百微米级透射电镜样品的制备方法
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