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申请/专利权人：通威微电子有限公司
摘要：本申请实施例公开了一种长晶炉应急冷却系统和冷却控制方法，通过设置PCW检测件来检测PCW系统的电流、电压、水压、水流量和或水温运行参数，通过控制器根据这些运行参数来判断PCW系统是否出现异常，在出现异常时使PCW水泵停止，同时控制应急水泵运行以及控制所述应急进水阀和所述应急出水阀均开启，这样即可使用应急冷却水源中的应急冷却水对长晶炉进行冷却降温，从而保证设备的正常运行、产品稳定以及避免安全隐患。
主权项：1.一种长晶炉应急冷却系统，其特征在于，包括应急冷却水源110、应急水泵120、应急进水管130、应急出水管140、检测组件150和控制器160；所述应急进水管130的进水端伸入所述应急冷却水源110，所述应急进水管130的出水端用于与长晶炉300的冷却水进口310连接，所述应急进水管130设置有应急进水阀131；所述应急出水管140的进水端用于与所述长晶炉300的冷却水出口320连接，所述应急出水管140的出水端伸入所述应急冷却水源110，所述应急出水管140设置有应急出水阀141；所述应急水泵120设置于所述应急进水管130；所述检测组件150包括用于检测PCW系统200的运行参数的PCW检测件151，所述运行参数包括电流、电压、水压、水流量和或水温；所述控制器160用于在判断出所述运行参数异常的情况下发出应急冷却启动指令，所述应急冷却启动指令用于控制所述PCW系统200的PCW水泵220停止，以及控制所述应急水泵120运行、所述应急进水阀131和所述应急出水阀141开启。
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权利要求：
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