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申请/专利权人：无锡富创得精密设备有限公司

摘要：本申请实施例提供了一种双轴定位运动装置，包括运动平台、激光发射装置、第一激光处理部件、第二激光处理部件、驱动部件和中控装置，中控装置与驱动部件、第一激光处理部件和第二激光处理部件块均对应连接，以使中控装置能够根据第一激光处理部件、第二激光处理部件反馈的信息控制驱动部件驱动放置载台移动至预设位置。本发明中的双轴定位运动装置避免了需要通过外部装置协助才能进行待处理的晶圆片的位置微调的情况，有效提高定位的精度，以满足高精确加工的精度要求，为后续的处理工艺提供了保障。

主权项：1.一种双轴定位运动装置，其特征在于，包括：运动平台，所述运动平台中空形成测试腔，所述测试腔内活动设置有放置载台，所述放置载台用于放置待处理的晶圆片；激光发射装置，设置于所述运动平台的一侧，所述激光发射装置上设置有第一激光发射口和第二激光发射口，所述第一激光发射口和所述第二激光发射口分别发射用于第一方向定位的第一激光和用于第二方向定位的第二激光，所述第一方向和所述第二方向对应垂直；第一激光处理部件，包括第一移动反射件和第一激光干涉器组件，其中所述第一移动反射件对应设置于所述放置载台上朝向所述第一方向的一侧，所述第一激光干涉器组件上开设有第一入射口和第一测量激光出射口，所述第一入射口与所述第一激光发射口对应连接，以使所述第一激光干涉器组件能够将所述第一激光处理为第一测量激光，所述第一测量激光出射口对应朝向且正对所述第一移动反射件，以使所述第一测量激光能够发射至所述第一移动反射件上，且所述第一测量激光被所述第一移动反射件反射至第一激光干涉器组件上，以实现能够测出所述第一移动反射件在第一方向上的位移；第二激光处理部件，包括第二移动反射件和第二激光干涉器组件，其中所述第二移动反射件对应设置于所述放置载台上朝向所述第二方向的一侧，且与所述第一移动反射件对应垂直，所述第二激光干涉器组件上开设有第二入射口和第二测量激光出射口，所述第二入射口与所述第二激光发射口对应连接，以使所述第二激光干涉器组件能够将所述第二激光处理为第二测量激光，所述第二测量激光出射口对应朝向且正对所述第二移动反射件，以使所述第二测量激光能够发射至所述第二移动反射件上，且所述第二测量激光被所述第二移动反射件反射至第二激光干涉器组件上，以实现能够测出所述第二移动反射件在第二方向上的位移；驱动部件，包括第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一驱动组件用于驱动所述放置载台沿所述第一方向进行移动，所述第二驱动组件用于驱动所述放置载台沿所述第二方向进行移动；中控装置，所述中控装置与所述驱动部件、所述第一激光处理部件和所述第二激光处理部件块均对应连接，以使所述中控装置能够根据所述第一激光处理部件、所述第二激光处理部件反馈的信息控制所述驱动部件驱动所述放置载台移动至预设位置。

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