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申请/专利权人：苏州智程半导体科技股份有限公司
摘要：本发明提供了一种多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，包括箱体，箱体开设甩干室，甩干室内设置甩干组件，甩干组件包括驱动装置和驱动座，驱动座内分布多组分别用于容纳盛放两种不同尺寸晶圆的晶圆花篮的容纳盒，驱动装置的驱动端驱使驱动座带动容纳盒和晶圆花篮转动以甩干晶圆，摆动机构推动容纳盒转动至具有的开口平行于驱动座的径向接送晶圆花篮；盖体连接烘干管道和喷淋管道，喷淋管道向甩干室内通入冲洗药品以冲洗晶圆表面，烘干管道向甩干室内通入烘干气体以烘干晶圆表面。本发明用以解决现有晶圆甩干机无法清除晶圆表面形成的水痕导致影响元器件成品性能的问题，以及晶圆甩干机仅适配一种尺寸晶圆存在的适用性较低的问题。
主权项：1.一种多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机，其特征在于，包括：箱体，所述箱体开设甩干室，所述甩干室内设置甩干组件，所述甩干组件包括驱动装置和驱动座，所述驱动座内分布不少于两组的容纳盒；多组所述容纳盒分别用于容纳盛放两种不同尺寸晶圆的晶圆花篮，所述驱动装置的驱动端驱使所述驱动座带动容纳盒和晶圆花篮转动以甩干晶圆，所述容纳盒通过摆动机构改变在甩干室内的状态，所述摆动机构推动所述容纳盒转动至具有的开口平行于驱动座的径向向上以接送晶圆花篮；所述箱体通过翻转机构连接盖体，所述盖体连接烘干管道和喷淋管道，所述翻转机构驱使所述盖体扣合于所述甩干室上方，所述喷淋管道向甩干室内通入冲洗药品以冲洗晶圆表面，所述烘干管道向甩干室内通入烘干气体以烘干晶圆表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州智程半导体科技股份有限公司 一种多尺寸晶圆冲洗及甩干一体机
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