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申请/专利权人：吉林大学

摘要：一种可调谐的双模六端口光功率分配器及其制备方法，属于平面光波导器件技术领域。从下至上依次由硅片衬底，在硅片衬底上制备的聚合物下包层，在聚合物下包层上制备的条形结构的聚合物光波导芯层，在聚合物下包层和聚合物光波导芯层上制备的聚合物上包层组成；聚合物光波导芯层材料的折射率高于聚合物上、下包层材料的折射率，聚合物光波导芯层是基于MZI和MMI光波导结构。本发明实现了可调谐且同时对两个光学模式从不同输出端口进行功率分配的目的；另外，采用聚合物材料制备器件的工艺相对简单，只需旋涂、光刻等常规工艺，不需要难度较高的工艺，而且生产成本低、效率高、能够大规模批量生产，是能够应用到实际当中的模式功率分配器。

主权项：1.一种可调谐的六端口光功率分配器，其特征在于：从下至上依次由硅片衬底25、在硅片衬底25上制备的聚合物下包层26、在聚合物下包层26上制备的条形结构的聚合物光波导芯层27、在聚合物下包层26和聚合物光波导芯层27上制备的聚合物上包层28组成，聚合物光波导芯层27材料的折射率高于聚合物下包层26和聚合物上包层28材料的折射率；聚合物光波导芯层27是基于MZI和MMI光波导结构，从左至右沿光的传播方向，依次由输入少模直波导1、输入锥形波导2、结构和尺寸相同的第一S弯曲波导3和第二S弯曲波导4、结构和尺寸相同且平行的第一直波导5和第二直波导6、结构和尺寸相同的第三S弯曲波导7和第四S弯曲波导8、结构和尺寸相同且平行的第一耦合臂波导9和第二耦合臂波导10、结构和尺寸相同的第五S弯曲波导11和第六S弯曲波导12、结构和尺寸相同且平行的第一移相器直波导13和第二移相器直波导14、结构和尺寸相同的第一锥形波导15和第二锥形波导16、多模干涉波导17、结构和尺寸相同的第三锥形波导29和第八锥形波导34、结构和尺寸相同的第四锥形波导30和第七锥形波导33、结构和尺寸相同的第五锥形波导31和第六锥形波导32、结构和尺寸相同的第一输出波导18和第六输出波导23、结构和尺寸相同的第二输出波导19和第五输出波导22、结构和尺寸相同的第三输出波导20和第四输出波导21组成，在第二直波导6之上的聚合物上包层28之上制备有金属加热电极24；第一S弯曲波导3、第一直波导5、第三S弯曲波导7、第一耦合臂波导9、第五S弯曲波导11、第一移相器直波导13、第一锥形波导15顺次连接后再与多模干涉波导17连接；第二S弯曲波导4、第二直波导6、第四S弯曲波导8、第二耦合臂波导10、第六S弯曲波导12、第二移相器直波导14、第二锥形波导16顺次连接后再与多模干涉波导17连接；多模干涉波导17分别通过第三锥形波导29、第八锥形波导34、第四锥形波导30、第七锥形波导33、第五锥形波导31、第六锥形波导32与第一输出波导18、第六输出波导23、第二输出波导19、第五输出波导22、第三输出波导20和第四输出波导21连接，第一输出波导18、第六输出波导23、第二输出波导19、第五输出波导22、第三输出波导20和第四输出波导21构成多模干涉波导17的6个输出端。

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