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申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司
摘要：本公开提供一种对位方法、曝光控制系统、存储介质及计算机程序产品，对位方法包括：通过目标对位模版对待曝光产品中的对位标记进行对位识别，并生成目标对位模版与对位标记的对位结果；判断对位结果是否满足对位合格条件，并在判断结果为否时输出对位报警信号和对位图像，对位图像为通过目标对位模版对待曝光产品中的对位标记进行对位识别时图像传感器采集到的图像，对位图像中包括对位标记以及目标对位模版与对位标记的对位效果；响应于第一控制指令切换目标对位模版，并通过切换后的目标对位模版执行通过目标对位模版对待曝光产品中的对位标记进行对位识别的步骤。本公开解决了对位过程中模版选择不合适导致对位报警以及设备停机的问题。
主权项：1.一种对位方法，其特征在于，包括以下步骤：通过目标对位模版对待曝光产品中的对位标记进行对位识别，并生成所述目标对位模版与所述对位标记的对位结果；判断所述对位结果是否满足对位合格条件，并在判断结果为否时输出对位报警信号和对位图像，所述对位图像为通过目标对位模版对待曝光产品中的对位标记进行对位识别时图像传感器采集到的图像，所述对位图像中包括对位标记以及所述目标对位模版与所述对位标记的对位效果；响应于第一控制指令切换所述目标对位模版，并通过切换后的目标对位模版执行所述通过目标对位模版对待曝光产品中的对位标记进行对位识别的步骤。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 京东方科技集团股份有限公司 北京京东方技术开发有限公司 对位方法、曝光控制系统、存储介质及计算机程序产品
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