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申请/专利权人：华中科技大学

摘要：本发明公开了一种基于超表面光学天线的红外太赫兹信号探测器及制备方法，探测器包括：衬底、掺杂层、二氧化硅层、超表面光学天线层、欧姆电极、肖特基电极和普通电极；超表面光学天线层宽度为0.5～10mm，并且包括分别用于探测红外信号的第一金属层和探测太赫兹信号的第二金属层，由于第一金属层和第二金属层分别对入射的红外信号和太赫兹信号波段电磁信号具有极强的局域表面等离激元感应能力，一旦与对应的信号产生局域表面等离激元振荡，其响应速度属于超高速响应，能够在极短时间内产生极强的响应信号，使得探测器能够更好地分辨红外太赫兹波段的电磁信号。此外，由于超表面光学天线的制作采用纳米工艺，使得红外太赫兹信号探测器体积很小、重量很轻。

主权项：1.一种基于超表面光学天线的红外太赫兹信号探测器，其特征在于，包括：衬底层、掺杂层、二氧化硅层、超表面光学天线层、欧姆电极、肖特基电极、普通电极；其中，所述掺杂层位于所述衬底层上，所述二氧化硅层、超表面光学天线层、欧姆电极位于所述掺杂层上，所述肖特基电极、普通电极位于所述二氧化硅层上；所述肖特基电极和所述普通电极均与所述超表面光学天线层连接，所述超表面光学天线层与所述掺杂层形成肖特基接触，所述欧姆电极与所述掺杂层形成欧姆接触；所述超表面光学天线层宽度为0.5~10mm，包括第一金属层和第二金属层；其中，所述第一金属层对于入射的红外电磁波具有局域表面等离激元特性，所述第二金属层对于入射的太赫兹电磁波具有局域表面等离激元特性；所述第一金属层和第二金属层位于同一层，或者所述第一金属层和第二金属层叠加分布；所述第一金属层包括多个第一金属纳尖单元，所述第一金属纳尖单元为平面结构，所述第一金属纳尖单元的宽度为20~80nm，高度为80~300nm，尖角角度为10~60度；所述第二金属层包括微米基元以及多个第二金属纳尖单元；其中，所述微米基元为微米结构，形状为多边形；所述第二金属纳尖单元分布在所述微米基元各个边的内侧或外侧，对于入射的太赫兹信号具有局域表面等离激元特性；单个第二金属纳尖单元宽为20~80nm，高为80~300nm，尖角为10~60度，相邻的第二金属纳尖单元间距为30~150nm。

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百度查询： 华中科技大学 基于超表面光学天线的红外太赫兹信号探测器及制备方法