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申请/专利权人：北京工业大学

摘要：一种基于探测光纤用于半导体激光器腔面镀膜内侧测温的方法及装置属于光热反射测温技术领域，所述方法包括：对待测激光器腔面进行光热反射系数CTR的校准；对待测激光器的驱动加以调制；使用一波长大于待测激光器激射波长的激光光束作为探测光，探测光被尾纤发出，垂直投射到待测激光器腔面；反射光携带温度信号再次进入尾纤，滤波后被探测器接收，对其进行计算后得到半导体激光器腔面温度信息。本发明能较为有效地测得半导体激光器工作时有源区前腔面内侧因光吸收而形成的热源并其周围区域的真实温度。相应的测量装置引入光纤进行探测与信号传输，对传统的光热反射测温系统进行了简化，有效提高了测量效率。

主权项：1.一种基于探测光纤用于半导体激光器腔面镀膜内侧测温的方法，其特征在于，包括步骤：选择探测光使其满足待测激光器镀膜外侧界面对该探测光的反射率远小于内侧界面反射率，以实现对激光器真实腔面的温度测量；同时该探测光波长需大于待测激光器激射波长，避免了腔面因吸收探测光而产生的自发热现象，从而对腔面测温不存在干扰，以实现无损的腔面温度测量；基于光热反射原理，根据材料的反射率随温度变化呈现出的线性关系，对待测激光器的多层结构腔面进行光热反射系数CTR的校准；对待测激光器的驱动加以调制，使激光器在周期信号的电流下工作，因温度为驱动电流的函数，腔面反射光的光强将受到驱动电流的同频调制；探测用的激光束沿光纤从光源传输至尾纤，并由尾纤发出，垂直投射到待测激光器腔面以保证反射光再次进入尾纤；被待测激光器腔面反射的反射光携带温度信号进入尾纤，滤波后沿光纤传输至光电探测器并被接收，光电探测器将光信号转为电信号，根据电信号的强度大小对其进行计算后得到半导体激光器腔面的温度信息；所述待测激光器的驱动的调制，其形式为一直流信号附加一交流周期信号，直流信号的作用为使待测激光器处于稳定的偏压下，交流信号的作用为使腔面温度受到驱动的同频调制，便于对温度信号的监测；其中，交流信号的频率应大于200Hz，幅度小于直流信号的12；腔面的材料为三层材料，所述反射率的计算表达式为： R1＝r12 式中，n0表示空气的折射率，n1表示第一层材料的折射率，n2表示第二层材料的折射率，n3表示第三层材料的折射率，r1、r2、r3表示三个界面的反射系数，r2和r3可依r1表达式同理算得；λ表示入射光的波长，h表示薄膜的厚度，θ1表示入射角的大小，表示第一层材料两边界面反射的相邻光束相位差，基于表达式同理可得R1表示一层界面的反射率，R2表示二层界面的反射率，R3表示三层界面的反射率。

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