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申请/专利权人：拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
摘要：本申请提供了一种承载座和镀膜装置。承载座用于镀膜装置。承载座具有受气侧和抽气侧。承载座设有多个承载部和多个第一通道。多个承载部均设于受气侧。每个承载部被配置为承载工件。其中，每个承载部的周侧设有至少一个第一通道。第一通道的第一端暴露于受气侧，第一通道的第二端暴露于抽气侧。本申请提供的一种承载座和镀膜装置，能够提升镀膜均匀性。
主权项：1.一种承载座，用于镀膜装置，其特征在于：所述承载座具有受气侧和抽气侧，所述承载座设有多个承载部和多个第一通道，多个所述承载部均设于所述受气侧，每个所述承载部被配置为承载工件；其中，每个所述承载部的周侧设有至少一个所述第一通道，所述第一通道的第一端暴露于所述受气侧，所述第一通道的第二端暴露于所述抽气侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 承载座和镀膜装置
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