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一种器件的制造方法及承载板 

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申请/专利权人:华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司

摘要:本申请提供一种器件的制造方法及承载板,承载板可以包括框架和与框架连接的多个横梁,框架用于承载待处理衬底,待处理衬底具有多个条状的栅线区域以及栅线区域之间的非栅区域,栅线区域用于形成导电栅线,待处理衬底上形成有透明导电膜层,透明导电膜层上的非栅区域形成有有机涂层,在框架上承载有待处理衬底时,横梁位于待处理衬底的下方,且覆盖非栅区域中的部分区域,即覆盖部分有机涂层,这样在形成导电材料层时,导电材料层不会形成在横梁覆盖的区域,利用有机溶剂溶解有机涂层,可以去除有机涂层和有机涂层上的导电材料层,形成位于栅线区域的导电栅线,有机溶剂与未被导电材料层覆盖的有机涂层接触,脱模效率较高,提高栅线的制造效率。

主权项:1.一种器件的制造方法,其特征在于,包括:提供待处理衬底;所述待处理衬底上形成有透明导电膜层,以及所述透明导电膜层上的有机涂层,以及位于栅线区域且贯穿所述有机涂层的刻蚀槽;利用承载板承载所述待处理衬底,形成覆盖所述有机涂层和所述刻蚀槽的导电材料层;所述承载板的横梁覆盖部分有机涂层,以阻止所述导电材料层形成于所述横梁覆盖的区域;所述导电材料覆盖所述有机涂层的未被所述横梁覆盖的区域;移去所述承载板后,利用有机溶剂溶解所述有机涂层,以去除所述有机涂层和所述有机涂层上的导电材料层,位于所述栅线区域的导电材料层作为导电栅线;所述透明导电膜层和所述导电栅线作为下电极材料层;所述承载板包括:框架,用于承载待处理衬底,所述待处理衬底具有多个条状的栅线区域以及所述栅线区域之间的非栅区域,所述栅线区域用于形成导电栅线;与所述框架连接的多个横梁;在所述框架上承载有所述待处理衬底时,所述横梁位于所述待处理衬底的下方,且覆盖所述非栅区域中的部分区域,以阻止所述导电栅线的材料形成于所述横梁覆盖的区域。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 华能新能源股份有限公司 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 一种器件的制造方法及承载板

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