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申请/专利权人：北京和崎精密科技有限公司
摘要：本实用新型提供了一种硅片传送系统，包括：工位，适于放置晶舟，工位沿第一方向间隔设置有多个；机械手，设置在工位的前侧，机械手配置成适于将硅片从晶舟中移出，适于将硅片移入晶舟；摄像单元，设置在工位的前侧，摄像单元包括摄像头和导轨，其中，导轨沿第一方向布置，摄像头可移动的设置在导轨上，摄像头配置成适于拍摄工位，以获取工位的图像；和控制单元，与摄像头耦接通讯，控制单元配置成可控制摄像头拍摄工位，并从摄像头获取图像。通过设置摄像头和控制单元，为提高硅片传送效率提供了硬件基础，摄像头和控制单元拍摄工位的图像并对图像进行分析处理时，机械手依然可以传送硅片，因此可大幅提高硅片传送效率。
主权项：1.一种硅片传送系统，其特征在于，包括：工位，适于放置晶舟，所述工位沿第一方向间隔设置有多个；机械手，设置在所述工位的前侧，所述机械手配置成适于将硅片从所述晶舟中移出，适于将硅片移入所述晶舟；摄像单元，设置在所述工位的前侧，所述摄像单元包括摄像头和导轨，其中，所述导轨沿第一方向布置，所述摄像头可移动的设置在所述导轨上，所述摄像头配置成适于拍摄所述工位，以获取所述工位的图像；和控制单元，与所述摄像头耦接通讯，所述控制单元配置成可控制所述摄像头拍摄所述工位，并从所述摄像头获取所述图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京和崎精密科技有限公司 硅片传送系统
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