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申请/专利权人：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
摘要：一种提高石墨电极利用率的石英坩埚熔融装置，包括升降组件、加热组件、密封罩、能够转动的支撑设备，支撑设备具有熔制空腔，密封罩设置在支撑设备的上方，且密封罩能够上下升降，密封罩与支撑设备接触后将熔制空腔密闭，加热组件设置在熔制空腔内，密封罩的上方设有升降组件，升降组件的伸缩端贯穿密封罩，加热组件与升降组件的伸缩端固定连接，在制备石英坩埚过程中，通过升降组件控制加热组件在熔制空腔内的位置，以使加热组件熔化熔制空腔内的石英砂埚胚，本发明还提供一种提高石墨电极利用率的石英坩埚制备方法。
主权项：1.一种提高石墨电极利用率的石英坩埚熔融装置，其特征在于：包括升降组件、加热组件、密封罩、能够转动的支撑设备，支撑设备具有熔制空腔，密封罩设置在支撑设备的上方，且密封罩能够上下升降，密封罩与支撑设备接触后将熔制空腔密闭，加热组件设置在熔制空腔内，密封罩的上方设有升降组件，升降组件的伸缩端贯穿密封罩，加热组件与升降组件的伸缩端固定连接，在制备石英坩埚过程中，通过升降组件控制加热组件在熔制空腔内的位置，以使加热组件熔化熔制空腔内的石英砂埚胚；加热组件包括第一电极盖、第二电极盖、第一电极棒组、第二电极棒组，第一电极盖、第二电极盖与升降组件固定连接，第一电极棒组由三根型号相同的石墨电极构成，第一电极棒组内的三根石墨电极间以预定角度安装在第一电极盖上，第二电极棒组由三根型号相同的电极构成，第二电极棒组内的三根石墨电极间以预定角度安装在第二电极盖上。
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