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一种高功率芯片微流道散热装置及设计方法 

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申请/专利权人:中国电子科技集团公司第二十九研究所

摘要:本申请公开了一种高功率芯片微流道散热装置包括功率芯片,涉及芯片封装散热领域,包括:芯片载板,芯片载板含顶面金属层和底面金属层、散热基板和微流道。芯片载板承接芯片底部和微流道顶部,并设有多个金属化通孔对应的微流道呈非等间距圆形螺旋分布。本申请还公开了上述一种高功率芯片微流道散热装置的设计方法,对多个微流道结构参数优化设计。

主权项:1.一种高功率芯片微流道散热装置,其特征在于,包括承接芯片的芯片载板(4)和设于所述芯片载板(4)下方的散热基板(6),所述芯片载板(4)上表面与芯片底部相接触,所述芯片载板(4)下表面与所述散热基板(6)顶部相接触;所述芯片载板(4)内设有多个金属化通孔(8),所述散热基板(6)包括第一微流道(12)和第二微流道(13),所述第一微流道(12)和所述第二微流道(13)呈非等间距的螺旋分布在散热基板(6)上,所述金属化通孔(8)排布位置与所述第一微流道(12)或所述第二微流道(13)的分布位置对应设置。

全文数据:

权利要求:

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