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申请/专利权人：阜阳师范大学;阜阳市镓数氮化物产业研究院有限公司
摘要：本发明涉及新型材料和半导体制备技术领域，具体涉及一种石蜡辅助的石墨烯剥离转移方法，包括以下步骤：在液态金属基底表面生长石墨烯，获得石墨烯液态金属结构；在上述石墨烯表面滴加熔化的石蜡、叠加保护层，石蜡降温凝固后获得保护层石蜡石墨烯液态金属结构；直接剥离石墨烯以去除上述液态金属基底，酸洗后获得保护层石蜡石墨烯结构；将上述保护层石蜡石墨烯结构叠放于目标衬底，溶解掉石蜡，获得石墨烯目标衬底结构，清洗干燥即可完成转移。本发明采用石蜡作为支撑层，直接从液态金属基底表面实现石墨烯剥离转移，不受剥离方向、速度、目标衬底粗糙度等影响，方法具有较高的普适性。
主权项：1.一种石蜡辅助的石墨烯剥离转移方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，在液态金属基底上生长石墨烯，获得石墨烯液态金属结构；步骤2，在步骤1获得的石墨烯液态金属基底表面滴加熔化的石蜡，在石蜡上覆盖保护层，降温使石蜡凝固，获得保护层石蜡石墨烯液态金属结构；步骤3，从上述液态金属基底表面直接剥离石墨烯，经酸洗，水洗、干燥，获得保护层石蜡石墨烯结构；步骤4，将步骤3获得的保护层石蜡石墨烯放置于目标衬底，加热使石蜡熔化，而后除去石蜡，获得石墨烯目标衬底结构，经异丙醇清洗、干燥，即可完成转移。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 阜阳师范大学 阜阳市镓数氮化物产业研究院有限公司 一种石蜡辅助的石墨烯剥离转移方法
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