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申请/专利权人：连科半导体有限公司
摘要：本发明属于区熔炉保温技术领域，具体的说是一种区熔炉保温装置，包括套设在单晶棒与多晶棒之间的主加热线圈、套设在多晶棒上的辅助加热装置，辅助加热装置包括辅助加热线圈，多晶棒穿过辅助加热线圈，辅助加热线圈上下两端均连接有导线，套设在辅助加热线圈上的冷热交换罩，两组水管，两组水管一端均固定连接冷热交换罩外圈，并且水管连通冷热交换罩内置的腔体；在对多晶棒降温过程中，由于腔体内的水处于不断的流动状态，使水一直处于低温性，从而保持水对热量吸收的高效性，不仅提高对多晶棒降温的效率，同时水将多晶棒散发的热量吸收，实现对热能的回收，从而达到节约资源的目的。
主权项：1.一种区熔炉保温装置，包括套设在单晶棒（3）与多晶棒（4）之间的主加热线圈（1）、套设在多晶棒（4）上的辅助加热装置（2），其特征在于：所述辅助加热装置（2）包括辅助加热线圈（201）；所述多晶棒（4）穿过辅助加热线圈（201），所述辅助加热线圈（201）上下两端均连接有导线（202）；套设在所述辅助加热线圈（201）上的冷热交换罩（203）；两组水管（204），两组所述水管（204）一端均固定连接冷热交换罩（203）外圈，并且水管（204）连通冷热交换罩（203）内置的腔体（205）。
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