龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：苏州阿童木新材料科技有限公司
摘要：本发明公开了基于CVD设备的成膜沉积质量分析方法及系统，涉及成膜沉积技术领域，包括：在CVD设备内安装嵌入式摄像头，并基于拍摄得到的影像对摄像头进行旋转；获取对样品进行沉积时混合的多个气态反应物，基于嵌入式摄像头使用混合分析方法获取沉积厚度区间以及同生混合情况；在CVD设备开始运行并对样品进行成膜沉积后，基于同生混合情况对成膜沉积进行质量判断；本发明用于解决现有的对成膜质量检测的改进中在标准情况下的成膜参数与缺少几种气态反应物时的成膜参数基本一致时，无法对成膜的质量进行有效判断的问题。
主权项：1.基于CVD设备的成膜沉积质量分析方法，其特征在于，包括如下步骤：在CVD设备内安装嵌入式摄像头，当样品放入CVD设备时，使用摄像头进行拍摄，并基于拍摄得到的影像对摄像头进行旋转；在CVD设备开始对样品进行成膜沉积前，获取对样品进行沉积时混合的多个气态反应物，基于嵌入式摄像头使用混合分析方法获取沉积厚度区间以及同生混合情况；在CVD设备开始运行并对样品进行成膜沉积后，基于同生混合情况对成膜沉积进行质量判断。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州阿童木新材料科技有限公司 基于CVD设备的成膜沉积质量分析方法及系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号