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申请/专利权人：环晟光伏(江苏)有限公司
摘要：本发明提供了一种石墨舟清洗方法及系统，清洗设备在目标石墨舟到达上舟位置时，从MOM系统获取目标石墨舟的尺寸信息；清洗设备获取尺寸信息对应于夹持装置的目标位置参数，并基于目标位置参数控制搬运机构通过夹持装置抓取目标石墨舟；清洗设备获取尺寸信息对应于清洗腔室的清洗参数；清洗设备控制搬运机构将目标石墨舟搬运至清洗腔室，并基于清洗参数控制清洗腔室清洗目标石墨舟。采用本发明可以降低石墨舟清洗所需的设备成本，同时保证现场石墨舟流转的合理性。
主权项：1.一种石墨舟清洗方法，其特征在于，所述石墨舟清洗方法应用于石墨舟清洗系统，所述石墨舟清洗系统包括与MOM系统通信连接的清洗设备，所述清洗设备设置有上舟位置、搬运机构和清洗腔室，所述搬运机构包括夹持装置；所述石墨舟清洗方法包括：所述清洗设备在目标石墨舟到达所述上舟位置时，从所述MOM系统获取所述目标石墨舟的尺寸信息；所述清洗设备获取所述尺寸信息对应于所述夹持装置的目标位置参数，并基于所述目标位置参数控制所述搬运机构通过所述夹持装置抓取所述目标石墨舟；所述清洗设备获取所述尺寸信息对应于所述清洗腔室的清洗参数；其中，所述清洗参数包括气体用量和或清洗时长；所述清洗设备控制所述搬运机构将所述目标石墨舟搬运至所述清洗腔室，并基于所述清洗参数控制所述清洗腔室清洗所述目标石墨舟。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 环晟光伏(江苏)有限公司 石墨舟清洗方法及系统
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