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申请/专利权人：北京中科科仪股份有限公司
摘要：本发明涉及扫描电镜技术领域，公开了一种探头装置、二次电子探测器及扫描电镜，二次电子探测器包括：偏压供电电路、放大电路及探头装置，探头装置包括：探头片、探头板及密封圈；探头片为半弧形结构，其外表面与探头板的第一端固定连接；探头板的第二端与探头板插座的第一端连接，探头板插座的第二端与遮挡板的第一端可拆卸连接；密封圈嵌入安装在盲板的第一表面后，盲板的第一表面可拆卸固定在低真空室的外壁上，并与低真空室内的遮挡板的第二端可拆卸连接。本发明的探头装置可在扫描电镜低真空模式下检测二次电子，避免低真空模式下因放电现象导致传统E‑T型二次电子探测器无法使用的问题。
主权项：1.一种探头装置，其特征在于，包括：探头片、探头板及密封圈，其中，所述探头片为半弧形结构，其内表面基于预设偏压区间内的电压吸引低真室内的二次电子，其外表面与所述探头板的第一端固定连接；所述探头板的第二端与探头板插座的第一端连接，探头板插座的第二端与遮挡板的第一端可拆卸连接；遮挡板的第二端可拆卸固定在盲板的第一表面上，所述遮挡板用于将探头板插座、探头板及探头片固定在盲板的第一表面上、调整所述探头片的角度；所述密封圈嵌入安装在盲板的第一表面后，盲板的第一表面可拆卸固定在低真空室的外壁上，并与低真空室内的遮挡板的第二端可拆卸连接；所述探头片通过所述探头板将二次电子以电流的形式从探头板的第二端输出；所述探头板的表面接地；所述低真空室的真空度为10Pa-500Pa。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京中科科仪股份有限公司 一种探头装置、二次电子探测器及扫描电镜
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