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申请/专利权人：煜汉精机(昆山)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种半导体检测设备位移台，包括：金属工作台、下板、中板、上板、拉簧、下板锁固螺栓、X轴驱动机构、Y轴驱动机构、R轴驱动机构、驱动块、旋转中心销，下板与中板通过燕尾槽结构装配，中板与上板通过燕尾槽结构装配，X轴驱动机构与中板和下板均固定连接；Y轴驱动机构与上板和中板均固定连接；驱动块与下板固定连接；R轴驱动螺母通过螺栓与金属工作台连接；下板通过旋转中心销与金属工作台连接，且下板能够通过下板锁固螺栓与金属工作台固定；缩小空间尺寸，实现高精度、大负载同时对R轴、X轴、Y轴的调节。
主权项：1.一种半导体检测设备位移台，包括：金属工作台、下板、中板、上板、拉簧、下板锁固螺栓、X轴驱动机构、Y轴驱动机构、R轴驱动机构、驱动块、旋转中心销，其特征在于：所述下板与所述中板通过燕尾槽结构装配，所述中板与所述上板通过燕尾槽结构装配，所述X轴驱动机构与所述中板和下板均固定连接；Y轴驱动机构与所述上板和所述中板均固定连接；所述驱动块与所述下板固定连接；R轴驱动螺母通过螺栓与所述金属工作台连接；所述下板通过旋转中心销与金属工作台连接，且所述下板能够通过所述下板锁固螺栓与金属工作台固定；当所述下板固定状态下，所述X轴驱动机构和所述Y轴驱动机构均能够驱动板体直线移动；当所述下板活动状态下，所述R轴驱动机构能够驱动板体绕所述旋转中心销转动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 煜汉精机(昆山)有限公司 一种半导体检测设备位移台
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