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基于高压用SiC压砧小台面光洁度抛光提升的方法 

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申请/专利权人:吉帕科技(深圳)有限公司

摘要:本发明公开了一种基于高压用SiC压砧小台面光洁度抛光提升的方法,该方法包括以下步骤:准备抛光材料,所述抛光材料包括钻石粉、铝粉和橄榄油;将钻石粉与橄榄油混合均匀,搅拌成粘稠状,并静置一段时间;在混合物中加入铝粉,继续搅拌均匀,并静置一段时间;在铸铁盘上均匀涂抹上述混合后的抛光膏,然后使用推盘车石臂将抛光膏均匀分布在铸铁盘表面,使用所述抛光膏对SiC压砧小台面进行抛光处理,以提升台面的光洁度。本发明通过对抛光粉的成分及比例进行优化,有效提高了高压用SiC压砧小台面的光洁度,解决了现有技术中抛光过程中容易产生黑色条纹和划痕的问题。

主权项:1.一种基于高压用SiC压砧小台面光洁度抛光提升的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:步骤一、准备抛光材料,所述抛光材料包括钻石粉、铝粉和橄榄油;步骤二、将钻石粉与橄榄油混合均匀,搅拌成粘稠状,并静置一段时间;步骤三、在混合物中加入铝粉,继续搅拌均匀,并静置一段时间;步骤四、在铸铁盘上均匀涂抹上述混合后的抛光膏,然后使用推盘车石臂将抛光膏均匀分布在铸铁盘表面;步骤五、使用所述抛光膏对SiC压砧小台面进行抛光处理,以提升台面的光洁度。

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权利要求:

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