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申请/专利权人：晶澳(扬州)太阳能科技有限公司
摘要：本发明公开一种钝化接触太阳能电池的制备方法及钝化接触太阳能电池。该制备方法可包括：将多个硅片排列放置于石英舟内；通过热氧工艺在硅片的第一主表面上制备隧穿氧化层；控制插片机调换硅片的排列顺序；通过化学气相沉积方式，在隧穿氧化层上顺序层叠形成第一本征多晶硅层、阻挡层和第二本征多晶硅层；对第一本征多晶硅层和第二本征多晶硅层进行掺杂元素热扩散激活处理，形成第一掺杂多晶硅层和第二掺杂多晶硅层。该制备方法能够有效地提升钝化接触太阳能电池的钝化接触性能，并有效地提升了钝化接触性能优良的钝化接触太阳能电池的良品率。
主权项：1.一种钝化接触太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：步骤1、将硅片放置于石英舟内；步骤2、通过热氧工艺在所述硅片的第一主表面上制备隧穿氧化层；步骤3、控制所述插片机调换石英舟中所述硅片的方向；步骤4、通过化学气相沉积方式，在所述隧穿氧化层上顺序层叠形成第一本征多晶硅层、阻挡层和第二本征多晶硅层；步骤5、对所述第一本征多晶硅层和所述第二本征多晶硅层进行掺杂元素热扩散激活处理，形成第一掺杂多晶硅层和第二掺杂多晶硅层。
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权利要求：
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