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一种基于参数空间泰勒展开的霍夫变换半导体材料圆形缺陷识别方法 

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申请/专利权人:奈米科学仪器装备(杭州)有限公司

摘要:本发明提出了一种基于参数空间泰勒展开的霍夫变换半导体材料圆形缺陷识别方法,通过泰勒展开的局部特征与霍夫变换的参数空间建立映射关系模型,从而实现半导体缺陷检测应用中的复杂形状高效识别,所述方法包括以下步骤:S1、对输入图像进行预处理以提取局部几何特征;S2、通过泰勒展开和梯度计算映射到参数空间中进行投票和峰值检测;S3、使用形态学操作和平滑处理去除噪声并校正检测结果;S4、在原始图像上标注并输出检测结果。本发明的有益效果在于:结合泰勒展开和霍夫变换,显著提高了图形识别的精度和效率,具有较强的抗噪能力和鲁棒性,特别适用于工业检测、自动驾驶、机器人导航等对图像识别精度要求较高的领域。

主权项:1.一种基于参数空间泰勒展开的霍夫变换半导体材料圆形缺陷识别方法,通过泰勒展开的局部特征与霍夫变换的参数空间建立映射关系模型,从而实现半导体缺陷检测应用中的复杂形状高效识别,其特征在于,所述方法包括以下步骤:S1、对输入图像进行预处理以提取局部几何特征;S2、通过泰勒展开和梯度计算映射到参数空间中进行投票和峰值检测;S3、使用形态学操作和平滑处理去除噪声并校正检测结果;S4、在原始图像上标注并输出检测结果。

全文数据:

权利要求:

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