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申请/专利权人：西安交通大学
摘要：本发明公开了一种MIM结构型电解电容器及其制备方法，属于电解电容器技术领域。MIM结构型电解电容器的制备方法为：将阀金属烧结箔进行阳极引出的保护和补形成处理后，放入ALD反应腔中，以保护气体为载体，依次通入介电氧化物源前驱体与反应物氧源A，高介电氧化物源前驱体与反应物氧源A键合生成的缓冲层沉积在介质层表面，然后依次通入导电氧化物源和反应物氧源B，导电氧化物源作为前驱体和反应物氧源B发生键合反应，生成的导电氧化物阴极薄膜沉积在缓冲层表面，在导电氧化物阴极薄膜上进行电极引出，制备得到MIM结构型电解电容器。本发明利用阀金属粉末烧结箔的增材法特性，提高了电解电容器的容量密度以及器件的容量引出率。
主权项：1.一种MIM结构型电解电容器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将阀金属烧结箔进行阳极引出的保护和补形成处理后，放入ALD反应腔中，以保护气体为载体，依次通入介电氧化物源前驱体与反应物氧源A，高介电氧化物源前驱体与反应物氧源A键合生成的缓冲层沉积在介质层表面，然后依次通入导电氧化物源和反应物氧源B，导电氧化物源作为前驱体和反应物氧源B发生键合反应，生成的导电氧化物阴极薄膜沉积在缓冲层表面，在导电氧化物阴极薄膜上进行电极引出，制备得到MIM结构型电解电容器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安交通大学 一种MIM结构型电解电容器及其制备方法
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