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激光装置、激光装置的波长控制方法和电子器件的制造方法 

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申请/专利权人:极光先进雷射株式会社

摘要:激光装置具有:波长可变的第1半导体激光器,其输出连续振荡的第1激光;第1放大器,其进行第1激光的脉冲化和放大,而输出第1脉冲激光;波长转换系统,其通过使用第1脉冲激光的波长转换,而输出第2脉冲激光;准分子放大器,其对第2脉冲激光进行放大,而输出第3脉冲激光;监视器模块,其计测第3脉冲激光的波长;以及处理器,其周期性地变更第3脉冲激光的目标波长,根据以相同的目标波长输出的第3脉冲激光的波长的计测值,控制用于对第1半导体激光器的波长进行变更的电流,以使第3脉冲激光的波长成为目标波长。

主权项:1.一种激光装置,其具有:波长可变的第1半导体激光器,其输出连续振荡的第1激光;第1放大器,其进行所述第1激光的脉冲化和放大,而输出第1脉冲激光;波长转换系统,其通过使用所述第1脉冲激光的波长转换,而输出第2脉冲激光;准分子放大器,其对所述第2脉冲激光进行放大,而输出第3脉冲激光;监视器模块,其计测所述第3脉冲激光的波长;以及处理器,其周期性地变更所述第3脉冲激光的目标波长,根据以相同的所述目标波长输出的所述第3脉冲激光的波长的计测值,控制用于对所述第1半导体激光器的波长进行变更的电流,以使所述第3脉冲激光的波长成为所述目标波长。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 极光先进雷射株式会社 激光装置、激光装置的波长控制方法和电子器件的制造方法

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