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申请/专利权人：浙江省计量科学研究院;杭州光粒科技有限公司

摘要：本发明公开了一种光栅衍射效率的测量方法及测量装置。待测全息体光栅放置于电动旋转位移台上且通过电动旋转位移台带动移动，光源发出的光束经二分之一波片入射到偏振分束器上，偏振分束器的分光面将入射光束分成两束偏振方向相互垂直的线偏振光，经分光面的偏振光入射至光栅中，光栅将入射的偏振光分为透射光束和衍射光束，透射光束和衍射光束分别入射到两个光探测器上，由光探测器采集不同入射角度下透射光束和衍射光束的光特性参数，通过光探测器测得对应的光特性参数来完成相关光栅参数的测量。本发明通过合理的设置光路，利用两种偏振光综合获取衍射效率，以解决目前光栅衍射效率测试精确性低的问题，为体全息光栅的制作提供了参考依据。

主权项：1.一种光栅衍射效率的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、搭设光栅测量装置：放置待测的光栅（6）于电动旋转位移台（4）上，启动光源（1），光源（1）发出的光束依次经二分之一波片（2）和偏振分束器（3）后入射到光栅（6）上，光栅（6）将入射光束分为透射光束和衍射光束，透射光束和衍射光束分别由两个光探测器（5）接收；所述的装置设有两种工作模式，分别为第一偏振模式和第二偏振模式，偏振分束器（3）的分光面将入射光束分成两束偏振方向相互垂直的线偏振光；当所述装置处于第一偏振模式下，电动旋转位移台（4）设置在经偏振分束器（3）反射的第一偏振光的光路上；当所述装置处于第二偏振模式下，电动旋转位移台（4）设置在经偏振分束器（3）透射的第二偏振光的光路上；所述第一偏振模式下的第一偏振光和第二偏振模式下的第二偏振光的偏振方向相互正交；步骤2、调整电动旋转位移台（4）的偏转角度和摆放位置，利用光探测器（5）测定光栅（6）在两种工作模式下不同入射角度αθ对应的光功率，并根据光功率得到衍射效率；步骤3、更换装置中的光探测器（5），调整电动旋转位移台（4）的偏转角度和摆放位置，然后获取光栅（6）在两种工作模式下不同入射角度αθ对应的二维光谱图数据；步骤4、利用光栅（6）的衍射效率和二维光谱图数据分别构建光栅（6）的角度选择曲线和波长-角度曲线，通过角度选择曲线表征不同入射角度下光栅（6）的衍射效率，通过波长-角度曲线表征光栅（6）的入射角度和波长之间的关系。

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