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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：本申请实施例涉及高效率激光支持等离子体光源。一种用于产生激光支持宽带光的系统，其包含：泵浦源，其经配置以产生泵浦光束；气体容纳结构，其用于容纳气体；及多通光学组合件。所述多通光学组合件包含一或多个光学元件，所述一或多个光学元件经配置以执行所述泵浦光束多次通过所述气体的一部分来支持发射宽带光的等离子体。所述一或多个光学元件经布置以收集透射通过所述等离子体的所述泵浦光束的未吸收部分且将所述泵浦光束的所述收集的未吸收部分导引回到所述气体的所述部分中。
主权项：1.一种等离子体系统，其包括：泵浦源，其经配置以产生泵浦光束；气体容纳结构，其用于容纳气体；光学组合件，其包含多通光学组合件和收集组合件，其中所述多通光学组合件包含一或多个光学元件，所述多个光学元件经配置以执行所述泵浦光束一或多次通过所述气体的一部分来支持发射宽带光的等离子体；及其中所述收集组合件包含一或多个收集光学元件，其中所述一或多个收集光学元件经配置以收集由所述等离子体发射的宽带辐射的至少一部分且导引回到所述等离子体，其中所述收集组合件的所述一或多个收集光学元件散布在所述多通光学组合件的所述一或多个光学元件之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 高效率激光支持等离子体光源
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