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基于等离子体的检测器及使用该检测器用于测量和监测气流的特性的方法 

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申请/专利权人:机械解析有限公司

摘要:提供了一种用于测量循环通过基于等离子体的检测器的气体的成分的方法,该基于等离子体的检测器具有限定内部容积的放电室,并且具有被配置为跨放电室施加等离子体生成场的放电电极。该方法包括使电压倾斜,直到其达到击穿电压以生成等离子体为止;检测等离子体的存在;在检测到等离子体的存在后基于击穿电压来确定压力;以大于击穿电压的操作电压来操作检测器;对等离子体执行一个或多个测量;基于一个或多个测量来生成检测器信号并基于确定的压力来补偿检测器信号以获得经补偿的检测器信号,该经补偿的检测器信号代表气体的成分。还提供了一种用于测量气体的成分的基于等离子体的检测器。

主权项:1.一种用于测量循环通过基于等离子体的检测器的气体的成分的方法,所述基于等离子体的检测器具有限定内部容积的放电室并且具有被配置为跨所述放电室施加等离子体生成场的放电电极,所述方法包括:使跨所述放电电极施加的电压倾斜,直到所述电压达到击穿电压,从而在所述内部容积中生成等离子体,所述等离子体发射光,所述光指示所述等离子体的存在;收集由所述等离子体发射的所述光以检测所述等离子体的所述存在;在检测到所述等离子体的所述存在后,基于所述击穿电压来确定所述放电室的所述内部容积中的所述气体的压力;以操作电压操作所述检测器,所述操作电压大于所述击穿电压;对所述等离子体执行光学测量和电测量中的至少一种,并基于其生成检测器信号;以及基于所述放电室的所述内部容积中的所确定的压力来补偿所述检测器信号,以获得经补偿的检测器信号,所述经补偿的检测器信号代表所述气体的所述成分。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 机械解析有限公司 基于等离子体的检测器及使用该检测器用于测量和监测气流的特性的方法

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