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探针卡监测系统及其监测方法 

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申请/专利权人:汉民测试系统股份有限公司

摘要:本发明提供一种探针卡监测系统,用于包括补强框与印刷电路板的探针卡或包括顶板与夹持机构的针测机中的任一者上且包括至少一传感器以及控制单元。至少一传感器设置在探针卡与针测机的其中一者内,以量测探针卡与针测机之间于至少一轴向上的距离。控制单元耦接至至少一传感器且被配置于发出警报。另提供一种探针卡监测方法。

主权项:1.一种探针卡监测系统,用于包括补强框与印刷电路板的探针卡或包括顶板与夹持机构的针测机中的任一者上,其中所述探针卡总成监测系统,其特征在于,包括:至少一传感器,设置在所述探针卡与所述针测机的其中一者内,以量测所述探针卡与所述针测机之间于至少一轴向上的距离;以及控制单元,耦接至所述至少一传感器且被配置于发出警报。

全文数据:

权利要求:

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