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一种震动台的检测方法及装置 

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申请/专利权人:昆山丘钛微电子科技股份有限公司

摘要:本发明公开了一种震动台的检测方法及装置,其中所述方法包括:确定标准震动台的多个震动角度;根据多个震动角度,获取预设的检测单元的X轴振幅和Y轴振幅;检测单元安装在标准震动台上,每个震动角度对应一X轴振幅和一Y轴振幅,X、Y分别标准震动台的两个不同震动方向;根据多个震动角度、多个X轴振幅和多个Y轴振幅,获得X轴振幅曲线和Y轴振幅曲线;根据X轴振幅曲线和Y轴振幅曲线,对待测震动台进行校准。本发明方法可显著提高点检效率,降低点检成本。

主权项:1.一种震动台的检测方法,其特征在于,包括:确定标准震动台的多个震动角度,包括:获取震动台在标准频率时的标准角度;根据预设的梯度值和所述标准角度,获得所述多个震动角度;其中,每相邻两组震动角度之间相距一所述梯度值;根据所述多个震动角度,获取预设的检测单元的X轴振幅和Y轴振幅;所述检测单元安装在所述标准震动台上,每个所述震动角度对应一所述X轴振幅和一所述Y轴振幅,X、Y分别标准震动台的两个不同震动方向;根据所述多个震动角度、多个所述X轴振幅和多个所述Y轴振幅,获得X轴振幅曲线和Y轴振幅曲线;根据所述X轴振幅曲线和所述Y轴振幅曲线,对待测震动台进行校准,包括:获取待测震动台震动时待测检测单元的X轴实测振幅和Y轴实测振幅;所述待测检测单元安装在所述待测震动台上;根据所述X轴振幅曲线、所述Y轴振幅曲线和预设的角度卡控范围,获得各自的振幅卡控范围;根据所述X轴实测振幅、所述Y轴实测振幅和所述振幅卡控范围,调整所述待测震动台的振幅以匹配所述振幅卡控范围;所述X轴振幅曲线包括X轴正向振幅曲线和X轴负向振幅曲线,所述Y轴振幅曲线包括Y轴正向振幅曲线和Y轴负向振幅曲线;所述根据所述多个震动角度、多个所述X轴振幅和多个所述Y轴振幅,获得X轴振幅曲线和Y轴振幅曲线,包括:根据所述多个震动角度和每个所述震动角度对应的所述X轴振幅的正向和或负向极值,获得所述X轴振幅曲线;根据所述多个震动角度和每个所述震动角度对应的所述Y轴振幅的正向和或负向极值,获得所述Y轴振幅曲线。

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权利要求:

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