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一种真空环境下的工件移送机构 

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申请/专利权人:万维智安科技(深圳)有限公司;殷光光学科技(上海)有限公司

摘要:本实用新型公开了一种真空环境下的工件移送机构,包括真空腔体和移料机构,真空腔体包括输送管道;移料机构包括安装架、Z轴往复运动机构、X轴往复运动机构和移料架,安装架为条形的U形槽结构,包括底板和两块侧板,安装架的开口朝上,安装架的底板固定在输送管道下部的内壁上;移料架的横向截面为П形,布置在安装架U形槽的凹槽中,由Z轴往复运动机构和X轴往复运动机构驱动;移料架的横板上包括N个载具定位凹槽,相邻载具定位凹槽之间的间距等于移料节距;安装架U形槽的顶部包括N+1个托料槽孔,相邻托料槽孔之间的间距等于移料节距。本实用新型的工件移送机构自动化程度高,可以提高成品率,降低生产成本。

主权项:1.一种真空环境下的工件移送机构,包括真空腔体,其特征在于,包括移料机构,真空腔体包括输送管道,输送管道的轴线沿X轴方向布置;移料机构包括安装架、Z轴往复运动机构、X轴往复运动机构和移料架,安装架为条形的U形槽结构,沿X轴方向布置在输送管道的内腔中;安装架包括底板和两块侧板,安装架U形槽的开口朝上,安装架U形槽的底板固定在输送管道下部的内壁上;移料架为长条形,横向截面为П形,包括两块立板和连接两块立板顶端的横板;移料架布置在安装架U形槽的凹槽中,由Z轴往复运动机构和X轴往复运动机构驱动;移料架的横板上包括N个载具定位凹槽,N个载具定位凹槽沿X轴方向分开布置,相邻载具定位凹槽之间的间距等于移料节距,N为大于2的整数;安装架U形槽的顶部包括N+1个托料槽孔,N+1个托料槽孔沿X轴方向分开布置,相邻托料槽孔之间的间距等于移料节距。

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