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申请/专利权人：深圳市圣柏林橡塑电子有限公司
摘要：本实用新型涉及一种晶圆涂胶显影用加热板，包括主板和数量为两个的散热板，所述主板的表面为开口结构，两个所述散热板位于主板的上下两侧，两个所述散热板的直径大于主板的内径但小于主板的外径，所述主板的表面开设有等距离等角度的数量为四条的贯穿槽，所述主板的内壁上固定安装有基板，所述主板的前侧表面和后侧表面均设置有固定组件，所述固定组件包括固定安装在主板正面上的安装罩，所述主板的表面且与安装罩位于同一水平面上的限位罩，所述安装罩的内部有延伸至限位罩内部的按压件。该晶圆涂胶显影用加热板，通过设置固定组件，便于工作人员将散热板从主板上拆卸下来，从而方便工作人员到基板上的加热元件进行检修。
主权项：1.一种晶圆涂胶显影用加热板，包括主板1和数量为两个的散热板2，其特征在于：所述主板1的表面为开口结构，两个所述散热板2位于主板1的上下两侧，两个所述散热板2的直径大于主板1的内径但小于主板1的外径，所述主板1的表面开设有等距离等角度的数量为四条的贯穿槽，所述主板1的内壁上固定安装有基板7，所述主板1的前侧表面和后侧表面均设置有固定组件；所述固定组件包括固定安装在主板1正面上的安装罩3，所述主板1的表面且与安装罩3位于同一水平面上的限位罩4，所述安装罩3的内部有延伸至限位罩4内部的按压件，所述限位罩4的内部设置有延伸至贯穿槽内部的连接件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市圣柏林橡塑电子有限公司 一种晶圆涂胶显影用加热板
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