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一种特种气体供应系统 

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申请/专利权人:苏州凯米科机电工程有限公司

摘要:本实用新型涉及一种特种气体供应系统,包括负压箱体,在负压箱体内靠近底部的位置沿着水平方向安装有至少一个第一充装钢瓶,在负压箱体内靠近顶部的位置安装有至少一个排空接口、进氮接口和出气接口以及一个排气接口。本实用新型可单独对充装钢瓶的充装管路进行吹扫处理以及放空处理,使得吹扫处理的独立性较好,且可及时实现放空处理。本实用新型通过第二充装钢瓶与排气接口的结构设置,可以通过第二充装钢瓶进行排气处理,进而进行气密性检测等。

主权项:1.一种特种气体供应系统,包括负压箱体1,在所述负压箱体1内靠近底部的位置沿着水平方向安装有至少一个第一充装钢瓶2,在所述负压箱体1内靠近顶部的位置安装有至少一个排空接口21、进氮接口22和出气接口23以及一个排气接口24;其特征在于:在所述负压箱体1内靠近底部的位置还安装有一个第二充装钢瓶3,所述第一充装钢瓶2的第一充装接头4的第一端通过第一排气支路5依次与排气第一汇集管路7和排气第二汇集管路9相连接,所述排气第二汇集管路9和所述第二充装钢瓶3的第二充装接头8与排气主管路10相连接,所述排气主管路10与排气接口24相连接;所述第一充装钢瓶2的第一充装接头4的第二端与第一供应支路11的第一端相连接,在所述第一供应支路11的第二端设置有第一供应预留支路14,靠近所述第一供应预留支路14的第一供应支路11的第三端与放空管路15的第一端相连接,所述放空管路15的第二端与排空接口21相连接,进氮管路16的第一端与所述进氮接口22相连接,所述进氮管路16的第二端与放空管路15的第一端相连接;所述第一充装钢瓶2的第一充装接头4的第三端与第二供应支路12的第一端相连接,所述第二供应支路12的第二端与出气主管路17相连接,所述出气主管路17通过出气汇集管路18分别与若干个出气支管路19相连接,所述出气支管路19与出气接口23相连接。

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