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申请/专利权人：波音公司
摘要：微光斑反射计。一种被配置成测试样品的反射计。反射计包括光源，该光源向放置在样品保持器上的样品发射光束。反射计将光束聚焦成样品上的缩小的光斑尺寸。反射计被配置成使用样品下游的检测器来观察样品中的结构缺陷。
主权项：1.一种被配置为测试样品的反射计，所述反射计包括：多个光源20，所述光源20中的每个被配置为沿着光路70发射不同波长的光束；样品保持器50，其被配置为沿着所述光路70定位所述样品；镜系统39，其被定位在所述光源20和所述样品保持器50之间的所述光路中，所述镜系统39被配置为将来自所述光源20的所述光束反射向所述样品100；检测器80，其被定位在所述样品保持器50下游以接收从所述样品反射的所述光束；所述镜系统39包括：第一镜43；在所述第一镜43下游的第二镜44；所述第一镜43被配置为相对于所述多个光源20可调节，对于每个光源20，所述第一镜44被配置为在形成具有第一偏振态的第一偏振路径的第一角位置和形成不同且具有不同的第二偏振态的第二偏振路径的第二角位置之间移动；并且所述第二镜44被配置为可调节，以沿着所述第一偏振路径和所述第二偏振路径中的每一个接收所述光束，并沿着所述第二镜45下游的共用路径引导所述光束。
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