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申请/专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要：本发明提供的光斑校正方法、系统、集成电路检测设备和存储介质，通过获取检测光束通过光学元件后的光斑图像；根据光斑图像获取光斑形变的量化指标，光斑形变包括旋转、均匀性、平移和离焦中的至少一个；根据量化指标，调节光学元件的空间自由度，直至量化指标在预设阈值范围内。可见不跟发明实现了光斑形变成因的量化，并根据量化指标对光学元件进行空间自由度的调节，从而对光斑进行调节。基于此，本发明可以对光斑形变进行自动化调节，形成自动反馈，从而保证检测设备的光斑稳定性。
主权项：1.一种光斑校正方法，其特征在于，包括：获取检测光束通过光学元件后的光斑图像；所述光学元件用于对所述检测光束进行光斑整形，将点光斑整形为线光斑；经所述光学元件整形的光斑存在光学形变；获取所述光斑图像上多列检测点的光强表征量，其中，同一列的各个检测点沿光斑的宽度方向排布，各列检测点沿所述光斑的长度方向排布；根据所述光强表征量获取光斑形变的量化指标，所述光斑形变包括旋转、均匀性、平移和离焦中的至少两个；根据所述量化指标，调节所述光学元件的空间自由度，直至所述量化指标在预设阈值范围内；其中，所述根据所述量化指标，调节所述光学元件的空间自由度中，按照旋转、均匀性、平移和离焦的顺序，依次根据所述光斑形变相应的所述量化指标，调节所述光学元件的空间自由度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳中科飞测科技股份有限公司 一种光斑校正方法、系统、集成电路检测设备和存储介质
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