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申请/专利权人：联华电子股份有限公司
摘要：本发明提供一种光学邻近效应校正的切分方法与图案化的方法，其中该光学邻近效应校正的切分方法包括以下步骤。进行初始切分，将布局图案的每一边定义为原始段，以形成多个原始段。判断目标边的对边是否有内角。如果有所述内角，对所述目标边进行对角切分，以形成多个中间段。判断目标段的对边与其邻边的夹角的种类。依据所述夹角的种类进行对称切分。
主权项：1.一种光学邻近效应校正的切分方法，其特征在于，包括：进行初始切分，将布局图案的每一边定义为原始段，以形成多个原始段；判断目标边的对边是否有内角；如果有所述内角，对所述目标边进行对角切分，以形成多个中间段；判断目标段的对边与其邻边的夹角的种类，其中所述目标段包括所述多个原始段与所述多个中间段其中之一；以及依据所述夹角的种类对所述目标段进行对称切分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 联华电子股份有限公司 光学邻近效应校正的切分方法与图案化的方法
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