首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

光学邻近效应校正的切分方法与图案化的方法 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:联华电子股份有限公司

摘要:本发明提供一种光学邻近效应校正的切分方法与图案化的方法,其中该光学邻近效应校正的切分方法包括以下步骤。进行初始切分,将布局图案的每一边定义为原始段,以形成多个原始段。判断目标边的对边是否有内角。如果有所述内角,对所述目标边进行对角切分,以形成多个中间段。判断目标段的对边与其邻边的夹角的种类。依据所述夹角的种类进行对称切分。

主权项:1.一种光学邻近效应校正的切分方法,其特征在于,包括:进行初始切分,将布局图案的每一边定义为原始段,以形成多个原始段;判断目标边的对边是否有内角;如果有所述内角,对所述目标边进行对角切分,以形成多个中间段;判断目标段的对边与其邻边的夹角的种类,其中所述目标段包括所述多个原始段与所述多个中间段其中之一;以及依据所述夹角的种类对所述目标段进行对称切分。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 联华电子股份有限公司 光学邻近效应校正的切分方法与图案化的方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。