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申请/专利权人:协伟集成电路设备(上海)有限公司
摘要:本实用新型公开了一种能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台,包括水平设置的平台主体,在所述平台主体的四角和两长边的中部分别对称设有竖直向弹簧隔振机构,所述竖直向弹簧隔振机构的底部与楼板固定连接;在平台主体的两长边的侧面对称设有水平向限位机构,所述水平向限位机构包括水平限位连接支架和水平限位固定支架,所述水平限位连接支架的一侧与平台主体固定连接,所述水平限位固定支架的底部与楼板固定连接,所述水平限位固定支架的上部水平穿设有固定轴,所述固定轴的轴向套设有可转动轴套,所述水平限位连接支架的另一侧套设于可转动轴套上。本实用新型提供的隔振平台,在用于承载精密设备的同时,能有效隔绝由楼板传递的竖直向高频振动。
主权项:1.一种能隔绝楼板竖直向高频振动的隔振平台,包括水平设置的平台主体,在所述平台主体的四角和两长边的中部分别对称设有竖直向弹簧隔振机构,所述竖直向弹簧隔振机构的底部与楼板固定连接;其特征在于:在平台主体的两长边的侧面对称设有水平向限位机构,所述水平向限位机构包括水平限位连接支架和水平限位固定支架,所述水平限位连接支架的一侧与平台主体固定连接,所述水平限位固定支架的底部与楼板固定连接,所述水平限位固定支架的上部水平穿设有固定轴,所述固定轴的轴向套设有可转动轴套,所述水平限位连接支架的另一侧套设于可转动轴套上。
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权利要求:
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