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申请/专利权人:郑州大学
摘要:本发明公开了一种联合破碎ITO废靶回收利用的方法,包括以下步骤:将溅射剩余的ITO废靶进行表面超声清洗,将清洗干净后的废ITO靶材进行纳米化处理,第一步:用鄂式破碎机将块状的ITO废靶粉碎成毫米级小颗粒;第二步:用超微气流磨将小颗粒的ITO废靶进一步粉碎成亚微米级颗粒;第三步:用砂磨机将微米级粉末与一定质量的水,分散剂,混合为固含量为50‑75%的浆料后进一步细化成纳米级颗粒。将第三步后的浆料经过烘干的粉末与设定比例的水,分散剂,粘结剂混合,得到固含量大于80%的ITO浆料,经过压力注浆得到ITO素坯,在经过干燥处理、脱脂和烧结处理得到平均晶粒尺寸为2‑10μm,相对密度大于99.5%,电阻率小于0.15mΩ·cm的ITO溅射靶材。
主权项:1.一种联合破碎ITO废靶回收利用的方法及装置,其特征在于:该制备方法包括:S1:将废靶进行预处理,得到预处理ITO废靶;S2:将预处理ITO废靶进行三次粉碎行为,第一步:用鄂式破碎机将块状的ITO废靶粉碎成小颗粒;第二步:用超细气流磨将ITO废靶颗粒进一步粉碎成亚微米级颗粒;第三步:用砂磨机将微米级粉末与一定质量的水,分散剂,混合为固含量为50-75%的浆料后进一步细化成纳米级100-500nm颗粒;S3:将第三步后的浆料经过烘干的粉末与设定比例的水,分散剂,粘结剂混合,得到固含量大于80%的ITO浆料;S4:经过压力注浆得到ITO素坯,再经过干燥、脱脂和烧结工艺后得到高致密细晶粒的ITO靶材。
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权利要求:
百度查询: 郑州大学 一种联合破碎ITO废靶回收利用的方法及装置
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