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申请/专利权人：季华实验室
摘要：本发明提供了一种CoFeB基磁性多层膜及其制备方法。本发明通过引入TiC层，TiC层可以有效地抑制Ta的扩散，使得TaCoFeB界面更加的平整，有利于获得垂直磁各向异性；TiC层可以有效在多层膜中引入C原子，引入C原子可以有效调控Fe和O之间的轨道杂化作用，进而可以有效通过C、O双离子的双层作用协同驱动多层膜的磁各向异性由面内向面外转化，即使得磁性多层膜获得垂直磁各向异性；本发明通过C、O双离子调控作用，增加材料调控的自由度，提高性能调控的幅度，从多角度出发，大大提高对薄膜垂直磁各向异性的调控，并且进一步提升了CoFeB基磁性多层膜的热稳定性。
主权项：1.一种CoFeB基磁性多层膜，其特征在于，包括：基底；缓冲层，其位于所述基底表面；TiC层，其位于所述缓冲层远离所述基底的表面；CoFeB层，其位于所述TiC层远离所述基底的表面；氧化物层，其位于所述CoFeB层远离所述基底的表面；保护层，其位于所述氧化物层远离所述基底的表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 季华实验室 一种CoFeB基磁性多层膜及其制备方法
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