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一种用于石墨模具的氮化硼陶瓷镀层制备方法 

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申请/专利权人:合肥工业大学;安徽金龙浩光电科技有限公司

摘要:本发明公开了一种用于石墨模具的氮化硼陶瓷镀层制备方法,包括以下制备方法:步骤S1:石墨模具样品的预处理;更为具体的是:将石墨模具样品进行打磨、抛光、清洗和烘干处理;步骤S2:预溅射处理;更为具体的是:采用氮化硼靶材作为溅射靶材,在纯氩气气氛下预溅射;步骤S3:溅射处理;采用氮化硼靶材作为溅射靶材,以预处理后的石墨模具样品为衬底,在纯氩气气氛下溅射,制得氮化硼薄膜。本发明通过在石墨模具表面镀一层氮化硼抗氧化陶瓷层,在极大延长石墨模具的使用寿命的同时,还起到减少石墨粉尘污染的作用,使得石墨的抗氧化性和环保性得到有效提升。

主权项:1.一种用于石墨模具的氮化硼陶瓷镀层制备方法,其特征在于;包括以下制备方法:步骤S1:石墨模具样品的预处理;更为具体的是:将石墨模具样品进行打磨、抛光、清洗和烘干处理;步骤S2:预溅射处理;更为具体的是:采用氮化硼靶材作为溅射靶材,在纯氩气气氛下预溅射;步骤S3:溅射处理;采用氮化硼靶材作为溅射靶材,以预处理后的石墨模具样品为衬底,在纯氩气气氛下溅射,制得氮化硼薄膜。

全文数据:

权利要求:

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