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申请/专利权人:埃克斯能量有限责任公司
摘要:金属或陶瓷层可以通过使用非卤化液体有机金属前体的化学气相沉积而沉积在核材料上。所述化学气相沉积通过包括以下步骤的方法执行:将核燃料颗粒引入流化床反应器,将流化床反应器加热至所需操作温度T1。启动载气流过蒸发器,然后将非卤化液体有机金属前体注入蒸发器中并蒸发。载气和蒸发的非卤化液体有机金属前体的第一混合物可以与气态碳源、气态氮源、气态氧源或它们的混合物混合,得到第二混合物;第二混合物流入操作温度T1的流化床反应器,从而在颗粒上沉积期望的陶瓷涂层。非卤化液体有机金属前体可以是Zr、Hf、Nb、Ta、W、V、Ti或它们的混合物的化合物。
主权项:1.一种通过化学气相沉积而沉积金属或陶瓷层的方法,包括:a将颗粒引入流化床反应器;b将所述流化床反应器加热至期望的操作温度T1;c启动载气流过蒸发器;d将非卤化液体有机金属前体注入所述蒸发器,蒸发所述非卤化液体有机金属前体;e使所述载气和蒸发的非卤化液体有机金属前体的第一混合物离开所述蒸发器;f任选地将所述第一混合物与气态碳源、气态氮源、气态氧源或它们的混合物混合,得到第二混合物;和g使所述第一混合物流入操作温度T1的所述流化床反应器,在所述颗粒上沉积期望的金属涂层;或使所述第二混合物流入操作温度T1的所述流化床反应器,在所述颗粒上沉积期望的陶瓷涂层。
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权利要求:
百度查询: 埃克斯能量有限责任公司 使用液态有机金属前体沉积陶瓷层
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