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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：用于微纳阵列结构加工的超声压印装置及方法，属于微纳阵列结构的精细加工技术领域，尤其涉及跨尺度功能表面的高效微纳阵列结构加工；解决了采用现有压印设备在异形曲面上实现跨尺度多维阵列微结构的压印加工过程中，存在的成本高、工艺复杂以及表面质量较差的问题；所述装置包括：三自由度超声操控器、接触式压印模具、传感检测部件、六自由度平台、结构支撑部件以及微位移调整台；所述三自由度超声操控器，用于操控接触式压印模具进行超声压印加工，对超声压印加工过程中的压印深度和压印力进行协同控制。所述的用于微纳阵列结构加工的超声压印装置及方法，适用于微纳阵列结构加工的超声压印。
主权项：1.用于微纳阵列结构加工的超声压印装置，其特征在于，所述装置包括：三自由度超声操控器1、接触式压印模具2、传感检测部件3、六自由度平台、结构支撑部件5以及微位移调整台6；所述六自由度平台用于放置待加工样品，还用于调整待加工样品的位置和姿态，以进行分度运动控制；所述三自由度超声操控器1的一端与微位移调整台6的一端固定连接；所述微位移调整台6的另一端固定连接到结构支撑部件5上；所述三自由度超声操控器1的另一端与所述接触式压印模具2可拆卸连接；所述接触式压印模具2具有表面微结构，所述表面微结构用于与待加工样品表面产生相互作用力，进行超声压印加工；所述三自由度超声操控器1，用于根据待加工的微纳阵列结构更换具有对应表面微结构的接触式压印模具2，还用于操控接触式压印模具2进行超声压印加工，对超声压印加工过程中的压印深度和压印力进行协同控制；所述微位移调整台6，用于调整接触式压印模具2与待加工样品表面间的距离；所述传感检测部件3，用于实时检测超声压印加工过程中的参数数据，并将所述参数数据反馈给三自由度超声操控器1以及六自由度平台。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 用于微纳阵列结构加工的超声压印装置及方法
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