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申请/专利权人：安徽皖仪智能科技有限公司
摘要：本发明公开了一种多级真空连续检漏系统及检漏方法，检漏系统包括传送系统以及检漏通道，所述传送系统贯穿检漏通道，使得放置于传送系统中的待检工件在检漏通道内完成检漏；所述检漏通道的内部设置有检漏区，所述检漏区设有第一真空区、第二真空区以及第三真空区，所述第二真空区位于第一真空区与第三真空区之间，且第二真空区的真空度分别高于第一真空区、第三真空区的真空度；所述第二真空区连接氦质谱检漏仪，并且第二真空区具有检漏口。本发明能够连续的对工件进行检漏，且能够准确的识别泄漏位置。
主权项：1.一种多级真空连续检漏系统，其特征在于，包括传送系统以及检漏通道，所述传送系统贯穿检漏通道，使得放置于传送系统中的待检工件在检漏通道内完成检漏；所述检漏通道的内部设置有检漏区，所述检漏区设有第一真空区、第二真空区以及第三真空区，所述第二真空区位于第一真空区与第三真空区之间，且第二真空区的真空度分别高于第一真空区、第三真空区的真空度；所述第二真空区连接氦质谱检漏仪，并且第二真空区具有检漏口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽皖仪智能科技有限公司 一种多级真空连续检漏系统及检漏方法
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