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申请/专利权人：北京中科飞鸿科技股份有限公司
摘要：本申请涉及一种声表面波器件电极结构及其制作方法，其电极结构包括第一电极层、第二电极层和第三电极层；所述第一电极层镀覆于所述压电基底的一面；所述第二电极层镀覆于所述第一电极层远离所述压电基底的一面；所述第三电极层镀覆于所述第二电极层远离所述压电基底的一面；所述第一电极层和第三电极层为金属材料制成；所述第二电极层为半导体材料制成。当第二电极层镀覆于第一电极层上时，随着声表面波滤波器长时间使用，其产生的高温使得金属原子具有移动的趋势，但由于此时半导体分子较为稳定，能够阻碍金属原子在具有移动的趋势下不发生移动，进而在一定程度上提高了声表面波滤波器的功率耐受性。
主权项：1.一种声表面波器件电极结构，镀覆于压电基底上，其特征在于：包括第一电极层2、第二电极层3和第三电极层4；所述第一电极层2镀覆于所述压电基底1的一面；所述第二电极层3镀覆于所述第一电极层2远离所述压电基底1的一面；所述第三电极层4镀覆于所述第二电极层3远离所述压电基底1的一面；所述第一电极层2和第三电极层4为金属材料制成；所述第二电极层3为半导体材料制成；所述第一电极层2包括附着层21和电极层22；所述附着层21为金属铬或金属钛制成；所述电极层22为金属铝、金属铜或铝铜合金制成；所述第二电极层3为氧化铟锡或氧化铟锌制成；所述第三电极层4为金属铝、金属铜或铝铜合金制成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京中科飞鸿科技股份有限公司 一种声表面波器件电极结构及其制作方法
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