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申请/专利权人：毅芯(厦门)科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种晶圆键合设备的压合机构，包括机架、可上下移动地设置在机架上的上盖体、用于驱动上盖体上下移动的驱动机构、设置在上盖体内的上压板、与上压板配合的下压板，所述上压板以柔性连接并可在所述上盖体上上下活动的方式安装在所述上盖体上。采用本实用新型的技术方案后，上压板以柔性连接并可在所述上盖体上上下活动的方式安装在所述上盖体上，当上压板抵压在晶圆上后，上盖体在驱动机构的作用下继续向下运动，上压板可以随之相对上盖体活动，从而使得上压板的重力转化成对晶圆的稳定压力，利用上压板的重力来实现键合压力的控制，控制更加简易，且压力稳定。
主权项：1.一种晶圆键合设备的压合机构，包括机架、可上下移动地设置在机架上的上盖体、用于驱动上盖体上下移动的驱动机构、设置在上盖体内的上压板、与上压板配合的下压板，其特征在于：所述上压板以柔性连接并可在所述上盖体上上下活动的方式安装在所述上盖体上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 毅芯(厦门)科技有限公司 一种晶圆键合设备的压合机构
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