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申请/专利权人：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种合理的集成电路芯片制造厂房一般及事故排风系统过滤单元，该方案适用于集成电路芯片制造厂房特气、化学品及纯废水区域的房间，以及半导体行业内其他有事故通风需求的场所。该方案将一般事故排风系统的活性炭过滤装置、手动电动风阀、集风箱整合为成套设备，并结合房间梁的平面布局，设计合适的设备尺寸以便充分利用梁窝空间，同时考虑集成电路芯片制造厂房气化房间的运行环境具有腐蚀性特点，设备外壳采用模块化防腐涂层板材拼装。通过以上调整，改变了以往排风系统各功能段分散布置的设计，并节省了二次防腐的施工工序。
主权项：1.一种集成电路芯片制造厂房一般及事故排风系统过滤单元，其特征在于：过滤单元的是箱式设备，设备内部为多通道分为一般通风通道、事故通风通道；一般通风通道入口端设置电动风阀，事故通风通道入口端设置电动风阀、出口端设置手动风阀，通道内装有活性炭吸附装置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司 一种集成电路芯片制造厂房一般及事故排风系统过滤单元
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